2X-15水冷式旋片式真空泵原理

 圖1是2X型旋片式真空泵泵原理圖，轉子3及7與高真空室外1及低真空室6相切，轉子3及7沿箭頭方向旋轉，帶動轉子槽內滑動的轉片旋轉,由于彈簧9及離心力的作用, 轉片外端緊貼高低真空室的內表面滑動,把轉子與高低真空室所形成的月洼形空間從進氣嘴2到排氣閥門5和從過氣管4到排氣閥門10之間分隔開來,形成二或三個容積,并且周期性的大小變化,當在圖示旋片式真空泵位置繼續旋轉時A及C容積逐漸增大,被抽容積氣體沒進氣嘴進入泵內,同時B及D容積逐漸減少,壓力升高,隨后沖開排氣閥門5及10,將氣體排出真空室外,氣體經過油面而排于大氣之中,因為油是淹住排氣門的,故能防止氣體返回真空室。當抽氣壓強較高時,高低真空室的閥門都排氣,相當于單級泵,當真空度較高時,全部氣體進入真空室,再由排氣閥門10排出,此時二級串聯即進入雙級泵工作。

2X-15水冷式旋片式真空泵原理
    如被抽除的氣體中含有較高的蒸汽氣體時，在氣體受到壓縮而其蒸汽的分壓強超過此蒸汽在泵內溫度下的飽和壓強時，此時蒸氣被壓縮成為液體，旋片式真空泵無法排出，而混在真空油內，使泵的性能大大降低。如果摻入適量的空氣，使蒸汽在受到壓縮時，其分壓強也低于泵溫的飽和壓強，則蒸汽在變成液體前就能被排出泵外去，故本系列2X-4以上的泵都裝有能放入一定量氣體的摻氣閥11見圖1。
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